Расходные материалы и оборудование

Серия	Толщина (мкм)	Применение	Свойства
HD-200	38 / 40 / 48	Прямое лазерное экспонирование (LDI) Кислотное травление внешних слоев Гальванометаллизация и щелочное травление внешних слоев Тентинг	Высокая фоточувствительность Отличные характеристики для тентинга Высокие адгезия и разрешение

Тестирование	Устройство экспонирования	Orbotech (paragou-8800hi)
Тестирование	Шкала чувствительности Штоуфера	41ST
Тестирование	Тестовый шаблон для разрешения	LEWI-TEST-METRIC
Тестирование	Тестовый шаблон для адгезии	LEWI-TEST-METRIC

Экспонирование	Энергия экспонирования (мДж/см²)	23	23	26
Экспонирование	Чувствительность / 41ST	20+2	20+2	20+2
Разрешение	Минимальный пробел (мкм)	35	40	45
Адгезия	Минимальная ширина линии (мкм)	30	35	40
Ламинирование	Максимальная глубина (мкм)	18+5	20+5	25+5
Проявка	Время проявления (сек)	38+5	45+5	55+5
Снятие	Время снятия (сек) (3%NaOH, 50^oC)	42+3	48+3	60+5
Снятие	Размер частиц при снятии (мм)	<50	<45	<35
Тентинг	Тентинг (D мм)	7	8	9