| Экспонирование |
Энергия экспонирования (мДж/см2) |
70 |
70 |
75 |
| Экспонирование |
Чувствительность / 41ST |
18+2 |
18+2 |
18+2 |
| Разрешение |
Минимальный пробел (мкм) |
20 |
25 |
30 |
| Адгезия |
Минимальная ширина линии (мкм) |
15 |
20 |
25 |
| Ламинирование |
Максимальная глубина (мкм) |
8+5 |
10+5 |
13+5 |
| Проявка |
Время проявления (сек) |
16+3 |
22+3 |
26+3 |
| Снятие |
Время снятия (сек)
(3%NaOH, 50oC) |
18+3 |
24+3 |
26+3 |
| Снятие |
Размер частиц при снятии (мм) |
<80 |
<70 |
<60 |
| Тентинг |
Тентинг (D мм) |
/ |
3 |
4 |
Замечание: Полученные из лаборатории вышеприведенные цифры используются только для справочных целей.
