| Экспонирование |
Энергия экспонирования (мДж/см2) |
80 |
90 |
| Экспонирование |
Чувствительность / 41ST |
20+2 |
20+2 |
| Разрешение |
Минимальный пробел (мкм) |
40 |
45 |
| Адгезия |
Минимальная ширина линии (мкм) |
40 |
40 |
| Ламинирование |
Максимальная глубина (мкм) |
20+3 |
22+5 |
| Проявка |
Время проявления (сек) |
45+3 |
53+5 |
| Снятие |
Время снятия (сек)
(3%NaOH, 50oC) |
45+5 |
55+5 |
| Снятие |
Размер частиц при снятии (мм) |
<40 |
<35 |
| Тентинг |
Тентинг (D мм) |
5 |
6 |
Замечание: Полученные из лаборатории вышеприведенные цифры используются только для справочных целей.
