| Экспонирование |
Энергия экспонирования (мДж/см2) |
75 |
80 |
| Экспонирование |
Чувствительность / 41ST |
18+2 |
18+2 |
| Разрешение |
Минимальный пробел (мкм) |
15 |
20 |
| Адгезия |
Минимальная ширина линии (мкм) |
15 |
15 |
| Ламинирование |
Максимальная глубина (мкм) |
7+3 |
10+3 |
| Проявка |
Время проявления (сек) |
20+3 |
32+3 |
| Снятие |
Время снятия (сек)
(3%NaOH, 50oC) |
24+3 |
35+3 |
| Снятие |
Размер частиц при снятии (мм) |
<50 |
<40 |
| Тентинг |
Тентинг (D мм) |
/ |
2 |
Замечание: Полученные из лаборатории вышеприведенные цифры используются только для справочных целей.
